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    2. 產品中心
      致力于環境量測試、流體測量、微粒子測量等方向的測試設備創新與應用
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      氦氣密封性檢測

      服務支持:

      • 產品描述
      • 技術指標

        定量測量范圍(Pa-m3/s) 10ˉ12~10ˉ2
        進氣口排氣速度(He) 1.8L/s(Gross Mode)
        2.0L/s(Middle Mode)
        5.0L/s(-H:Fine Mode)
        進氣口形狀 NW25(ISO)
        主泵 TMD 50L/s
        顯示 彩色液晶

         

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